無油防爆真空泵：是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到10-2Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復合結(jié)構(gòu), 經(jīng)多級串聯(lián)抽氣。這種泵的抽氣單元是以滿足壓力10-2Pa, 出口壓力為大氣壓,返油率為零而設計的。牽引泵在分子流態(tài)下有高的壓縮比,在粘性流態(tài)時抽速和壓縮比均很低。作為無油的粗抽泵來說,要經(jīng)常在粘性流態(tài)下工作,因此不能采用這種抽氣單元。該泵選用了徑向流和周向流抽氣機構(gòu)為了使該抽氣單元能從粘性流擴展到過渡流和分子流區(qū)域, 作為真空泵的抽氣單元, 經(jīng)研究得出葉輪通道和轉(zhuǎn)向通道均為向后彎曲的葉片,組合后得到了很好的抽氣性能, 在低于103Pa 的過渡流和分子流范圍內(nèi), 壓縮比為3000。這種徑向流抽氣單元, 根據(jù)抽速的要求, 可調(diào)節(jié)葉輪上葉片的高度。（無油防爆真空泵