制冷旋片式真空泵是真空技術中比較基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。它旋片泵主要是由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。制冷旋片式真空泵的工作性能由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到二級，并經(jīng)二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得的真空。